ISO 12406:2010

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth profiling of arsenic in silicon

Autor: ISO

Código ICS: 71.040.40

$143.990

Valores en pesos chilenos, incluyen IVA.

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Especificaciones de la Norma

Fecha de Publicación	08/11/2010
Título Secundario	Analyse chimique des surfaces -- Spectrométrie de masse des ions secondaires -- Dosage de l'arsenic dans le silicium par profilage d'épaisseur
Páginas Técnicas	13
Idioma	Inglés