ISO 14237:2010

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

Autor: ISO

Código ICS: 71.040.40

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Estado: Vigente

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Especificaciones de la Norma

Fecha de Publicación	09/07/2010
Título Secundario	Analyse chimique des surfaces -- Spectrométrie de masse des ions secondaires -- Dosage des atomes de bore dans le silicium à l'aide de matériaux dopés uniformément
Páginas Técnicas	19
Idioma	Inglés