ISO 14706:2000

Surface chemical analysis -- Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

Autor: ISO

Código ICS: 71.040.40

Formato
Estado: No Vigente

$192.780

Valores en pesos chilenos, incluyen IVA.

Cantidad:

Especificaciones de la Norma

Fecha de Publicación	21/12/2000
Título Secundario	Analyse chimique des surfaces -- Détermination de la contamination en éléments à la surface des tranches de silicium par spectroscopie de fluorescence X à réflexion totale
Páginas Técnicas	23
Idioma	Inglés