ISO 16413:2013

Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry -- Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
Autor: ISO
Código ICS: 35.240.70
No Vigente
$226.100
Especificaciones de la Norma
Fecha de Publicación 12/02/2013
Título Secundario Évaluation de l'épaisseur, de la densité et de la largeur de l'interface des films fins par réflectrométrie de rayons X -- Exigences instrumentales, alignement et positionnement, rassemblement des données, analyse des données et rapport
Páginas Técnicas 30
Idioma Inglés