ISO 16531:2013

Surface chemical analysis -- Depth profiling -- Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS

Autor: ISO

Código ICS: 71.040.40

Formato
Estado: No Vigente

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Especificaciones de la Norma

Fecha de Publicación	16/05/2013
Título Secundario	Analyse chimique des surfaces -- Profilage d'épaisseur -- Méthodes d'alignement du faisceau d'ions et la mesure associée de densité de courant ou de courant pour le profilage d'épaisseur en AES et XPS
Páginas Técnicas	18
Idioma	Inglés