ISO 17331:2004

Surface chemical analysis -- Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

Autor: ISO

Código ICS: 71.040.40

Formato
Estado: Vigente

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Especificaciones de la Norma

Fecha de Publicación	18/05/2004
Título Secundario	Analyse chimique des surfaces -- Méthodes chimiques pour collecter les éléments analysés de tranches de silicium comme matériaux de référence pour l'analyse par spectroscopie de fluorescence X en réflexion totale (TXRF)
Páginas Técnicas	18
Idioma	Inglés