ISO 23812:2009

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth calibration for silicon using multiple delta-layer reference materials

Autor: ISO

Código ICS: 71.040.40

Formato
Estado: Vigente

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Valores en pesos chilenos, incluyen IVA.

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Especificaciones de la Norma

Fecha de Publicación	08/04/2009
Título Secundario	Analyse chimique des surfaces -- Spectrométrie de masse des ions secondaires -- Méthode pour l'étalonnage de la profondeur pour le silicium à l'aide de matériaux de référence à couches delta multiples
Páginas Técnicas	19
Idioma	Inglés