ISO 25164:2026

Physical vapor deposition coatings — Magnetron sputtering deposition of TiAlSiN thin films — Specification
Autor: ISO
Código ICS: 25.220.40
Vigente
$71.400

Alcance

This document specifies the technical requirements for TiAlSiN thin films deposited by magnetron sputtering.This document is also applicable to the deposition of TiN, TiAlN or TiSiN thin films.

Especificaciones de productos
Fecha de Publicación 03/08/2026
Título Secundario Revêtements obtenus par dépôt physique en phase vapeur — Dépôt de couches minces de TiAlSiN par pulvérisation cathodique magnétron — Spécification
Páginas Técnicas 6
Idioma Inglés