ISO/TR 15969:2001

Surface chemical analysis -- Depth profiling -- Measurement of sputtered depth
Autor: ISO
Código ICS: 71.040.40
No Vigente
$94.010
Especificaciones de la Norma
Fecha de Publicación 31/05/2001
Título Secundario Analyse chimique des surfaces -- Profilage d'épaisseur -- Mesurage de l'épaisseur bombardée
Páginas Técnicas 12
Idioma Inglés