ISO/TR 19319:2013

Surface chemical analysis -- Fundamental approaches to determination of lateral resolution and sharpness in beam-based methods
Autor: ISO
Código ICS: 71.040.40
Vigente
$322.490
Especificaciones de la Norma
Fecha de Publicación 06/03/2013
Título Secundario Analyse chimique des surfaces -- Approche fondamentale pour la détermination de la résolution latérale et de la netteté par des méthodes à base de faisceau
Páginas Técnicas 116
Idioma Inglés