ISO/TS 22933:2022

Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for the measurement of mass resolution in SIMS
Autor: ISO
Código ICS: 71.040.40
Vigente
$143.990

Alcance

This document specifies a method for measuring the mass resolution in SIMS, and how to compare the mass resolution between different instruments (e.g. TOF-SIMS, Magnetic SIMS, Quadrupole SIMS, Fourier Transform SIMS, etc.) by considering the peak shapes.

Especificaciones de la Norma
Fecha de Publicación 01/04/2022
Título Secundario Analyse chimique des surfaces — Spectrométrie de masse des ions secondaires — Méthode pour le mesurage de la résolution en masse dans la SIMS
Páginas Técnicas 15
Idioma Inglés